面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式:
- 知识产权简介:
本发明提供了一种面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法，包括：设有半球形凹槽的单晶硅基底、微型半球形谐振子、中心固定支撑柱、均匀分布式平面线圈、均匀分布式永磁体、凹形支架，本发明采用面外驱动和检测方法，可实现面外力与面内位移之间的相互转换，便于检测垂直于基底方向的科氏效应；本发明采用电磁式驱动和检测方法，无需制作静电式所需的微小电容间隙，同时可避免寄生电容、静电吸附等问题；本发明采用平面线圈和永磁体的方式进行电磁驱动和电磁检测，便于制作和实现；本发明体积小，成本低，工艺简单，可实现批量化生产。
一种内外环固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种内外环固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法，包括一个含有五到八环的多环谐振器；位于所述多环谐振器的两相邻环之间的多组辐条，相邻两组辐条的位置有一角度差；一个支撑多环谐振器外环的固定滑槽；一个支撑多环谐振器内环的阶梯式圆柱形支撑杆；位于多环谐振器上表面的离散电极；所述多环谐振器的最外一圈环固定，最内一圈环由阶梯式圆柱形支撑杆固定，仅中间的环保留振动自由。本发明由于多环谐振器内外环固定，电极布置在多环谐振器上表面，具有体积小、结构稳定，响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。
一种外缘固定式静电驱动多环陀螺及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种外缘固定式静电驱动多环陀螺及其制备方法，所述陀螺包括一个含有五到八环的多环谐振器；一个支撑多环谐振器的固定滑槽；位于所述多环谐振器的两相邻环之间的多组辐条，用于连接所述多环谐振器的环与环，相邻两组辐条的位置有一角度差；一个圆柱形支撑杆，位于所述多环谐振器中央，所述圆柱形支撑杆的中心轴与所述多环谐振器的中心轴重合；位于圆柱形支撑杆上的离散电极；其中：所述多环谐振器最外一圈环固定，仅保留径向振动自由。本发明由于多环谐振器外缘固定，离散电极内置于环中央，具有体积小、结构稳定，响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。
半球形微陀螺封装结构及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种半球形微陀螺封装结构及其制备方法，包括：单晶硅基底、均匀分布信号电极、半球壳式谐振子、圆柱形支撑柱、导通电极、玻璃基底、交叉连接线、引线焊接板、底部引线、单晶硅盖板、隔离层、种子层、导通层、通孔焊接板、顶部引线。本发明采用背部导通电极和交叉连接线实现半球壳式谐振子的电气连接，避免在半球壳式谐振子上直接焊接导线而引起结构的不对称；将单晶硅盖板覆盖在单晶硅基底上端，可保护半球壳式谐振子及信号电极不被破坏，同时可在单晶硅基底和单晶硅盖板之间形成高真空区域，实现微陀螺的片上密封；将通孔结构和信号电极相连，便于从封装结构外部对微陀螺进行信号施加和信号提取；本发明制作方便，可靠性高。
一种外缘固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种外缘固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法，包括一个含有五到八环的多环谐振器；一个支撑多环谐振器的固定滑槽；位于所述多环谐振器的两相邻环之间的多组辐条，用于连接所述多环谐振器的环与环，相邻两组辐条的位置有一角度差；位于多环谐振器内环表面的离散电极；其中：所述多环谐振器最外一圈环固定，仅保留径向振动自由。本发明由于多环谐振器外缘固定，离散电极内置于环中央，具有体积小、结构稳定，响应灵敏等优点，具有良好的对称性，因而可以达到较高的性能。
酮烯胺连接共价有机框架的微波辅助制备方法
- 国民经济行业: 制造业／化学原料和化学制品制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明公开了一种酮烯胺连接共价有机框架的微波辅助制备方法，包括如下步骤：将1，3，5‑三甲酰基均苯三酚、对苯二胺加入溶剂中，超声分散形成悬浮液；所述溶剂为均三甲苯、二氧六环和醋酸溶液的混合溶剂；将所述悬浮液经过至少3次的液氮冷冻‑抽真空‑脱气处理，密封，在100℃下微波辅助溶剂热反应1小时，得粗产物；将所述粗产物离心后，收集不溶物，依次用均三甲苯和丙酮洗涤、干燥，即得所述酮烯胺连接共价有机框架。本发明的方法无污染，反应条件温和简单，对设备的要求简单，适合工业化大规模生产。
