一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法，包括一个长方形基底，基底中心部分为一个圆柱形空腔，圆柱形腔正上方是一个半球谐振体，半球谐振体从下到上依次为：玻璃层、离散电极层、绝缘层和非晶合金层；半球谐振体的四周边缘平行地键合在基体的上表面，且半球谐振体的边缘有两层梯状以引出电极线本发明中所述半球谐振体的四周边缘键合在基底上有着很好的稳定性和抗冲击能力；所述半球谐振体含有非晶合金材料，具有优异的材料特性。本发明具有工艺步骤简洁，采用常用的成熟微机械加工方法，具有高度对称性，因而可以达到很高的性能。
一种基于载波检出的微电容陀螺信号检测方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
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本发明提供了一种基于载波检出的微电容陀螺信号检测方法，所述方法通过多频率载波叠加在电极对上，此时，控制电极对或者检测电极对与陀螺谐振子之间的差动电容会根据陀螺的振动状态发生相应的变化，通过检测此差动电容变化可完成陀螺的信号检测；或者采用频分复用信号传输方法检出信号。本发明采用差动电容检测方法，无需谐振体上进行金属图形化电极引线；采用频分复用的信号检出方式，保证陀螺的检测信号的识别性；在基底加工电极，无需谐振子引线，很大程度上简化加工工艺，减小陀螺设计与加工难度。
一种微型吹塑半球谐振器陀螺及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
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- 知识产权简介:
本发明提供了一种微型吹塑半球谐振器陀螺及其制备方法，陀螺包括一个具有上表面的长方形基底，基底中心部分为一个圆柱形空腔，圆柱形空腔的正上方是一个半球谐振体，半球谐振体的边缘键合在基底的上表面，且边缘有两层梯状以引出电极线；半球谐振体的四周边缘键合在基底上，有着很好的稳定性和抗冲击能力。本发明具有工艺步骤简洁，采用常用的成熟微机械加工方法，具有高度对称性，因而可以达到很高的性能。
一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
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- 知识产权简介:
本发明提供了一种玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺及其制备方法，所述陀螺包括：一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子和八个半球壳式电极，其中：八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测；所述中央谐振子和半球壳式电极采用玻璃金属吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。
环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
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- 知识产权简介:
本发明提供了一种环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法，包括：一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个环形玻璃壳体、八个制作在环形玻璃上的金属电极，其中：八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测；所述中央半球壳谐振子和外围的环形玻璃采用玻璃吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。
一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法
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- 知识产权简介:
本发明提供了一种图形转移的压印式微型半球谐振陀螺及其制备方法，所述陀螺包括一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个支撑半球壳式中央谐振子的支撑柱、八个通过离子掺杂形成的电极，其中八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过金属引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测。所述中央半球壳谐振子采用图形转移的压印方式制成。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。
