下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法，包括：基底、基底上中心位置周围的空环形腔、在基底上的下凹环形压电谐振体、固定在基底上对下凹环形谐振体起支撑作用的支撑柱以及其上的电极、在下凹环形谐振体外表面上呈对称分布的八个电极，所述下凹环形压电谐振体定位成与所述基底的上表面分开以允许该压电谐振陀螺仪振动。本发明通过基底上表面的成型支撑柱对谐振体进行支撑，稳定性好，有利的减小支撑阻尼的影响，有利于提高陀螺Q值和灵敏度；工艺相对简单，利于实现；谐振体除中间支撑外与基底分离，有利于其振动；采用压电材料，抗过载、抗冲击能力强，工作谐振频率高，启动时间短。
一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种压电驱动和检测的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括一个单晶硅基底、一个中心固定支撑柱、一个微型半球谐振子、一个公共电极、八个薄膜压电体、八个均匀分布式信号电极，其中：单晶硅基底与微型半球谐振子通过中心固定支撑柱相连；公共电极与微型半球子的形状相同，位于微型半球谐振子与压电体之间；压电体与信号电极的形状相同，位于公共电极与信号电极之间。本发明采用压电驱动的方式激励微型半球谐振子进行工作，驱动模态和检测模态相互匹配。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作。本发明利用逆压电效应和压电效应进行微陀螺仪的驱动和检测，具有一体化程度高、功耗低、便于批量化制作等特点。
半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、信号电极、屏蔽电极、微型半球体谐振子、中心固定支撑柱，微型半球体谐振子与单晶硅基底通过中心固定支撑柱相连；信号电极和屏蔽电极设置于单晶硅基底的上表面，两者相互交错均匀地分布在微型半球体谐振子的周围；八个信号电极与微型半球体谐振子之间的距离、八个屏蔽电极与微型半球体谐振子之间的距离分别相同。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；具有更大的有效振动质量，可增强柯氏效应的检测效果；具有更高的工作模态振动频率，可减小环境噪声和机械噪声等；设置了屏蔽电极，可减少信号电极之间的相互串扰，减小检测过程中寄生电容的影响。
一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种双端固定式硅基微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括：一个单晶硅基底、八个均匀分布式电极、一个微型半球谐振子、一个双端固定支撑柱和一个图形化盖板，其中：所述双端固定支撑柱的下端通过沉积的方式与所述基底连接、上端通过键合的方式与所述图形化盖板连接；所述电极设置于所述基底的上表面，并均匀地分布在所述微型半球谐振子的周围；所述微型半球谐振子固定在所述双端固定支撑柱的底端。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作，通过截止层准确地控制支撑柱面积的大小。本发明可以稳定地固定微型半球谐振子，同时使陀螺的工作振动模态远离陀螺的倾斜、旋转以及支撑柱的变形等其他振动模态。
基于微圆球的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种基于微圆球的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法，包括：一个单晶硅基底、八个均匀分布式电极、一个微型半球谐振子、一个背部圆形孔、一个粘附层，其中：微型半球谐振子依靠背部圆形孔进行精确定位及自动对准并通过粘附层固定在单晶硅基底上，八个电极均匀地分布在微型半球谐振子的周围；采用静电驱动的方式激励微型半球谐振子进行工作，其驱动模态和检测模态分别相互匹配。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作所述陀螺仪。本发明陀螺仪无需制作半球形模具，可提供结构良好的微型半球谐振子，同时进行自动对准，是一种便捷的批量化生产微型半球谐振陀螺仪的方法。
半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法
- 国民经济行业: 制造业／仪器仪表制造业
- 权利人: 上海交通大学
- 意向合作模式: 转让, 许可, 入股
- 知识产权简介:
本发明提供了一种半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法，包括：基底、基底上中心位置周围的环形空腔、环绕于支撑柱的半环形压电谐振体、连接到基底的上表面作为半环形压电谐振体支撑的支撑柱以及在半环形谐振体外表面上呈对称分布的八个电极，所述半环形压电谐振体定位成与所述基底的上表面分开以允许该压电谐振陀螺仪振动。本发明通过基底上表面的成型支撑柱对谐振体进行支撑，稳定性好，有利的减小支撑阻尼的影响，有利于提高陀螺Q值和灵敏度；工艺相对简单，利于实现；谐振体除去中间支撑外与基底分离，有利于其振动；采用压电材料，抗过载、抗冲击能力强，工作谐振频率高，启动时间短，与现有技术相比有明显优势。
