薄膜应变/力矩传感器
技术描述
应变/力矩传感薄膜环境耐受性好，适用于高温、高湿、盐雾和霉菌等特色环境，应变薄膜可以温度自补偿，热输出小、对环境扰动小、响应快，原位制造避免了传统粘贴导致的蠕变或滞后效应，功耗低，电磁兼容性好，应用于空间机器人、工业机器人谐波减速器等机械关节的输出力矩测量，为机构的力感知及精确控制的实现提供技术基础。
技术优势
开发的应变薄膜可以实现温度自补偿、热输出小，对环境扰动小，响应快， 1）复合保护层技术，改善应变薄膜的高温稳定性，实现高温到800度的动态应变测量，800℃保温10h后电阻漂移率0.0004/h，国内领先水平。 2）温度自补偿应变薄膜，热输出小。TCR小（65ppm/℃）甚至接近零，无需补偿电路，尤其适合于有限空间的应变测量。 3）可以在部分被测构件上直接集成应变薄膜，避免了传统粘贴导致的测量不准确、蠕变或滞后问题。
效果指标
应变测量应用广泛，可以用于应变力矩测量，还可以用于机械结构的健康监测。Datum Electronics提供两种类型的多元件应变片螺栓式应变传感器，已被开发为一种坚固耐用的生产传感器，与复杂的应变片安装相关。HBM公司可以供应各种箔式应变传感器，通过特定的胶水来粘贴，粘贴过程也不简单，依赖于技术工人的熟练操作。随着机器人在各行各业的大规模应用，机器人已由传统的工业机器人发展至服务于人的与人共融机器人。传统的工业机器人的一般都是采用姿态控制的，但对于与人共融的机器人来说，确保人机物理接触操作的安全性十分重要，而要想实现这一特点必须准确测量机器人与环境之间或机器人与人类之间的接触力及力矩。国内机器人关节力矩测量所用的箔式应变片，多是进口，要用胶粘，且胶水也是定制的进口胶水。